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• 产品型号：台
• 产品规格：NRL60A/NRL90A/NRL180A
• 产品品牌：ULVAC爱发科

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产品优势

特长 NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。 低噪音、低振动 优良的耐腐蚀性 标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。 选购件 可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

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特长

NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
•  活性气体（CVD、刻蚀等）。
•  排出非活性气体（溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
•  用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
•  作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
•  冷冻干燥等水蒸气排气。

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